Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0305U003362, 0103U004209 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів генерації та методів керування комбінованими потоками заряджених та нейтральних частинок в іонно-плазмових системах низького тиску Назва етапу роботи Дослідження потоків заряджених частинок в імпульсних системах з комбінованими Е-Н полями та розробка чисельної моделі модифікації поверхні катодів Керівник роботи Фареник В.І., Дата реєстрації 24-03-2005 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження — магнетронний розряд у імпульсному режимі, відбивний розряд з осцилюючими електронами, або розряд у комірці Пенінга, газові розряди у схрещених постійному електричному та магнітному полях, поверхня твердого тіла під дією низькоенергетичних іонних потоків. Мета роботи — дослідження процесів генерації потоків заряджених частинок в умовах низького тиску, формування рельєфу поверхні катода у діодній розпилювальній системі з холодним катодом. Методи дослідження — експериментальні дослідження газових розрядів низького тиску в іонно-плазмових системах та розрядних характеристик імпульсних магнетронних розпилювальних систем. Досліджено експериментально і теоретично для магнетронного розряду постійного струму з часовим розрізненням процес виходу до стаціонарного стану після проходження дуги. Розроблено модель, що описує динамічні властивості магнетронного розряду. Запропонована конструкція джерела потоків заряджених частинок на основі відбивного розряду (комірки Пенінга) з порожнистими катодами, які виготовлено з матеріалу, що має великий коефіцієнт вторинної іон-електронної емісії, тобто, з графіту. Встановлені режими формування трубчастих новоутворень на катоді в діодній розпилювальній системі з холодним катодом. Запропонован механізм утворення та зростання цих новоутворень. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити