Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0305U003366, 0103U004193 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження синтезу нанокомпозитних матеріалів у автоматизованих сильнострумових вакуумно-плазмових системах Назва етапу роботи Дослідження і розробка методів модифікації поверхні твердого тіла та створення систем сполучення вакуумно-плазмового обладнання з комп'ютером Керівник роботи Бізюков О А Целуйко О Ф, Дата реєстрації 24-03-2005 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Мета проекта - експериментальні і теоретичні дослідження фізико-хімічних основ синтезу нанокомпозитних матеріалів у вакуумно-плазмових установках на основі сильнострумових газових розрядів з автоматизованими комп'ютерними системами керування технологічними процесами у реальному масштабі часу для розробки методик одержання нанокомпозитних структур із заданими властивостями. Об'єкт дослідження - методи одержання щільної плазми робочих речовин у сильнострумових магнетронному, дуговому та плазмово-пучковому газових розрядах, способи формування та прискорення потоків заряджених частинок на поверхню, що оброблюється, методи діагностики та датчики системи автоматизації для контролю параметрів технологічного плазмового середовища. Проведено експерименти по іонно-плазмовому селективному травленню поверхні матеріалів. Зокрема проведено низькоенергетичне травлення тонких плівок (Si, W, SiO2 та алмазоподібних) у середовищі інертних (Ar), хімічно-активних (O2, SF6) газів та їх сумішей. Досліджувався вплив тиску, потужності розряду, енергії іонів і газового складу на швидкість і селективність травлення. Проведено експерименти по плазмово-стимульованому осаджуванню тонких плівок (алмазоподібних і SiO2) із газової фази і безпосередньо з пучка іонів. Використовувались сполучення C6H12 і ГМДС і їх суміші з окислювальними (O2) і відновлюваними (H2) домішками. Проведені дослідження показали, що змінюючи склад робочих сумішей і умови енергетичної активації процесу утворення плівок (напругу, що прискорює іони, ВЧ і постійний зсув), можливо одержати плівки з широким діапазоном властивостей. Фактором, що найбільшою мірою визначає структуру плівок, зв'язану з гібридизацією атому вуглецю, є склад плазмоутворюючої суміші. Другим по важливості фактором є властивості плазми й енергія частинок, обумовлені типом газового розряду. Розроблено метод полірування іонними пучками. Особливості методу полягають у наступному: (i) попереднє осадження 100 нанометрового шару алмазоподібної плівки на шорсткувату поверхню так, щоб верхня поверхня була плоскою; (ii) розпилення отриманої поверхневої структури перпендикулярно падаючим низькоенергетичним кисень-аргоновим іонним пучком до глибини, приблизно декількох шарів осадженого матеріалу; і (iii) декілька циклів осадження-розпилення до досягнення необхідного кінцевого стану поверхні. Розроблено інженерно-фізичні засади щодо створення нового покоління високоефективної мікроконтролерної багатофункціональної та багатоканальної автоматизованої системи управління вакуумно-технологічним обладнанням. Виготовлено діючий макет системи управління з використанням сучасної мікроелектронної техніки та програмних засобів, проведено його дослідження, калібрування та перевірка у реальних умовах лабораторних вимірювань. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити