Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0305U003529, 0104U010879 , Науково-дослідна робота Назва роботи Теоретичні та експериментальні дослідження методом скануючої зондової мікроскопії атомарної структури тонких шарів оксидів, які є елементами прикладних структур. Розробка та оптимізація методів імплантації низькоенергетичних іонів Si+ в структуру нанотонких термічних оксидів SiO2 на підкладках з монокристалічного кремнію. Назва етапу роботи Теоретичні та експериментальні дослідження методом скануючої зондової мікроскопії атомарної структури тонких шарів оксидів, які є елементами прикладних структур. Розробка та оптимізація методів імплантації. Керівник роботи Бердар Микола Миколайович, Дата реєстрації 25-04-2005 Організація виконавець Виробничо-наукове дочірнє підприємство "Елісат" Опис етапу Робота була спрямована на робробку зондових (АСМ - атомна силова мікроскопія, СТМ - скануюча тунельна мікроскопія) методів направленого форування електричних якостей напівпровідникових наноструктур для формування під зондом цих приладів напівпровідникових наноструктур прикладного значення з наперед заданими електричними властивостями. Була створена експериментальна технологічна лінія по отриманню нової елементної бази з управлінням зовнішнім зарядом одночасткового переносу енергії. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Теоретичні та експериментальні дослідження методом скануючої зондової мікроскопії атомарної структури тонких шарів оксидів, які є елементами прикладних структур. Розробка та оптимізація методів імплантації низькоенергетичних іонів Si+ в структуру нанотонких термічних оксидів SiO2 на підкладках з монокристалічного кремнію.
Керівник: Бердар Микола Миколайович. Теоретичні та експериментальні дослідження методом скануючої зондової мікроскопії атомарної структури тонких шарів оксидів, які є елементами прикладних структур. Розробка та оптимізація методів імплантації низькоенергетичних іонів Si+ в структуру нанотонких термічних оксидів SiO2 на підкладках з монокристалічного кремнію.. (Етап: Теоретичні та експериментальні дослідження методом скануючої зондової мікроскопії атомарної структури тонких шарів оксидів, які є елементами прикладних структур. Розробка та оптимізація методів імплантації.). Виробничо-наукове дочірнє підприємство "Елісат". № 0305U003529
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-19


Роздрукувати цю сторінку