Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0305U005226, 0105U005568 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка високоефективних іонних джерел на базі магнетронних розрядних систем. Назва етапу роботи Дослідження та розробка високоефективних іонних джерел на базі магнетронних розрядних систем Керівник роботи Грошев Володимир Миколайович, Дата реєстрації 05-08-2005 Організація виконавець Науково-виробниче підприємство "Плазмотехніка" Опис етапу Проведено дослідження та розробку високоефективних іонних джерел на базі магнетронних розрядних систем. Розроблена і передана ескізна документація високо ефективного іонного джерела на базі системи оберненого магнетрона, здатного працювати в вакуумній камері одночасно з процесом електронно-променевого випаровування матеріалів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити