Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0305U005997, 0104U009135 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел. Назва етапу роботи Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел. Виготовлення експериментальних зразків - твердих планарних джерел фосфору Керівник роботи Островський Ігор Петрович, Дата реєстрації 01-12-2005 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Розглянуто особливості виготовлення твердих планарних джерел (ТПД) фосфору та бору на термостійких підкладках. Досліджено основні параметри ТПД: термін експлуатації джерел і легуючи властивості. Завдяки використанню експериментальних зразків твердих планарних джерел фосфору та бору вдалося покращити технологічні параметри процесів легування пластин кремнію. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел.
Керівник: Островський Ігор Петрович. Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел.. (Етап: Дослідження дифузії легуючих елементів у кремній та виготовлення твердих планарних джерел. Виготовлення експериментальних зразків - твердих планарних джерел фосфору). Національний університет "Львівська політехніка". № 0305U005997
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку