Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0306U001163, 0104U003157 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження динаміки іонно-променевих та ВЧ розрядних плазмових систем у комбінованих електричному та магнітному полях. Назва етапу роботи Виконання вимірів просторового розподілу густини і температури електронів, функції розподілу електронів за енергіями, потенціалу плазми в обох системах в широкому діапазоні зовнішніх параметрів. Керівник роботи Толок Володимир Тарасович, Дата реєстрації 07-02-2006 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Розроблено системи виміру і керування, монтаж, налагодження, запуск і випробовування експериментального зразка модуля для плазмохімічного та іонно-плазмового травлення. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити