Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0307U001336, 0107U000751 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка мікросистемної технології, виготовлення тестових мікроелектронних структур та мікропрофілювання кремнію для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів Назва етапу роботи Розробка мікросистемної технології, виготовлення тестових мікроелектронних структур та мікропрофілювання кремнію для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів Керівник роботи Шаран Микола Миколаєвич, Дата реєстрації 16-02-2007 Організація виконавець Науково-дослідний центр радіоелектроніки "Полюс" Опис етапу Розроблена топологія фотошаблонів тестових структур, а також технологія їх виготовлення та нанесення захисних композитних плівок. Проведений технологічний маршрут, виготовленні тестові структури Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити