Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0307U001611, 0106U001949 , Науково-дослідна робота Назва роботи Оптимізація структуроутворення і властивостей нанокристалічних багатокомпонентних плівок при іонно-плазмовому розпиленні. Назва етапу роботи Одержання покриттів методами іоноплазмового розпилення (ІПР). Керівник роботи Бажин Анатолій Іванович, Дата реєстрації 16-04-2007 Організація виконавець Донецький національний університет імені Василя Стуса Опис етапу Методами рентгенівської дифрактометрії, просвічувальної електронної мікроскопії та вторинної іонної мас-спектрометрії вивчено вплив режимів іоно-плазмового розпилення (ВЧ-потужність P=200…600 Вт; тиск робочого газу P0=0.75…0.32 Па, взаємне розташування підкладки та мішені та інше) на параметри тонкої структури та відхилення від стехіометрії плівок систем Ta-B; C60-Ti. Встановлені оптимальні режими розпилення, що дозволяють отримувати нанокристалічні рівномірні за товщиною плівки у системі Ta-B, склад яких наближений до стехіометричного. Показано, що підвищення ВЧ потужності сприяє збільшенню ступеня текстурованості плівок та розмірів блоків субструктури. В системі C60-Ti відпал плівок після осадження приводить до утворення нової фази, яка суттєво підвищує захисні властивості плівок. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити