Реєстраційний номер
0307U001919,
0106U001656
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка багатофункціональних елементів і вузлів для систем керування та зв'язку на основі арсеніду галію
Назва етапу роботи
Розробка технології виготовлення активних елементів на основі GaAs, проведення попередніх випробувань
Керівник роботи
Привалов Євген Миколайович,
Дата реєстрації
13-06-2007
Організація виконавець
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
Опис етапу
Об єкт дослідження -активні елементи на основі GaAs. Метод дослідження - інформаційно-аналітичний та експериментальний. Розроблено проект технічного завдання на технологію виготовлення активних елементів на основі GaAs та технологічний процес обробки напівпровідникового матеріалу GaAs і формування омічних контактів до нього. Область застосування - виробництво напівпровідникових -пристроїв.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02