Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0307U007737, 0107U009045 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження електрохімічних реакцій на поверхні кремнію під дією зонду СТМ. Назва етапу роботи Дослідження електрохімічних реакцій на поверхні кремнію під дією зонду СТМ. Керівник роботи Маслов Володимир Петрович, Дата реєстрації 08-11-2007 Організація виконавець Спеціальне конструкторсько-технологічне бюро з ДВ Інституту фізики напівпровідників Опис етапу Розроблено оригінальну спрощену систему підведення СТМ вістря до поверхні зразка та схему вимірювань величини тунельного струму. Проведено дослідження характеру та інтенсивності зонд-стимульованих електрохімічних реакцій на кремнієвих зразках різного типу провідності в залежності від величини напруги зміщення. Показана їх перспективність для застосування в нанолітографії. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Дослідження електрохімічних реакцій на поверхні кремнію під дією зонду СТМ.
Керівник: Маслов Володимир Петрович. Дослідження електрохімічних реакцій на поверхні кремнію під дією зонду СТМ.. (Етап: Дослідження електрохімічних реакцій на поверхні кремнію під дією зонду СТМ.). Спеціальне конструкторсько-технологічне бюро з ДВ Інституту фізики напівпровідників. № 0307U007737
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку