Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0308U001202, 0106U000362 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження впливу атомарного водню на тонкі металеві плівки та гетероструктури з металевими плівками Назва етапу роботи Дослідження впливу атомарного водню на електрофізичні властивості тонких металевих плівок Керівник роботи Матюшин Володимир Михайлович, Дата реєстрації 25-01-2008 Організація виконавець Запорізький національний технічний університет Опис етапу Об'єкт дослідження: тонкі металеві плівки та гетероструктури на їх основі. Предмет роботи: явища модифікації електрофізичних параметрів тонких металевих плівок та гетероструктур на їх основі під впливом дії атомарного водню. Суть процесу дослідження: дослідження фізичних процесів і механізмів взаємодії атомарного водню з тонкими металевими плівками із різними властивостями та гетероструктурами на їх основі шляхом вимірювання їх основних електрофізичних параметрів. Показано, що під дією атомарного водню відбувається зміна електропровідності дослідних тонких металевих плівок (Ni, Ag, Cu, Al). Виявлено, ця зміна залежить від умов обробки. Виявлені та досліджені процеси, які відповідають за зміну електропровідності: розпилення, розчинення водню в об'ємі плівки, нагрів, процеси модифікації структури. Експериментально виявлено залежність процесів, що протікають, від температури зразків та технології виготовлення плівок. Обрано режими обробки зразків для цілеспрямованих змін та оптимізації їх параметрів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити