Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0308U001206, 0107U000441 , Науково-дослідна робота Назва роботи Моделювання процесів масоперенесення при напилюванні тонких плівок енергетичними частинками Назва етапу роботи Розробка аналітичної моделі процесів масоперенесення при напилюванні тонких плівок пучками низькоенергетичних моноатомних частинок Керівник роботи Корніч Григорій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 25-01-2008 Організація виконавець Запорізький національний технічний університет Опис етапу Мета та предмет роботи: розробка аналітичної моделі та комп’ютерних алгоритмів, що описують процеси масоперенесення, які супроводжують напилювання тонких плівок енергетичними частинками, дослідження впливу параметрів бомбардування підкладинки на еволюцію концентраційних профілів компонентів системи, які в свою чергу впливають на параметри плівки. Об'єкт дослідження - напилювання тонких плівок енергетичними частинками. Отримано аналітичну дифузійноподібну модель напилювання тонкої плівки на підкладинку з урахуванням окислення компонентів системи, та данні про еволюцію концентраційних профілів плівки при різних параметрах моделі. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити