Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0308U001265, 0107U009943 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка вакуумної системи для одержання наноструктур кремнія та германія Назва етапу роботи Розробка вакуумної системи для одержання наноструктур кремнія та германія Керівник роботи Фонкіч Олександр Михайлович, Дата реєстрації 26-01-2008 Організація виконавець Спеціальне конструкторсько-технологічне бюро з ДВ Інституту фізики напівпровідників Опис етапу Розроблена, виготовлена і змонтована вакуумна система установки для вирощування наноструктур кремнію та германію. Розраховані параметри основних елементів системи, підібрані насоси, арматура і інші елементи, виготовлені оригінальні деталі, закуплені відсутні комплектуючі, необхідні для створення вакуумної системи. Проведені випробування насосів і зібраної вакуумної системи. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити