Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0308U001419, 0106U001574 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів формування потоків активованих частинок у кластерних плазмових системах для синтезу та обробки наноструктур Назва етапу роботи Дослідження параметрів комбінованих потоків активованих частинок у кластерній системі, умов зародження новоутворень на поверхні, що обробляється Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 04-02-2008 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження: нова кластерна система для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Мета роботи: полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за допомогою магнетрона постійного струму в інертному газі та активації реактивного газу за допомогою додаткового плазмового джерела на базі ВЧ індукційного розряду, встановлення механізмів росту новоутворень на поверхні твердого тіла пад впливом активованих частинок плазми. Метод дослідження: аналіз зондових характеристик плазми, теоретичний опис формування новоутворень. В цьому звіті представлені результати розробки та дослідження нової кластерної системи для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за допомогою магнетрона постійного струму в інертному газі та активації реактивного газу за допомогою додаткового плазмового джерела на базі ВЧ індукційного розряду. Протягом виконання роботи були виріщені наступні проблеми: розроблено та досліджено два типа ВЧІ джерела плазми для активації хімічно-активних газів, модернізовано установку УРМЗ для реактивного магнетронного нанесення нанокомпозіційних діелектричних покриттів, проведено комплексні дослідження процесу реактивного синтезу діелектричних сполук типу Al2O3. У роботі розвинина модель опису, що заснована на аналізі експериментальних даних, зародження і початкової стадії еволюції мікрометрових структур (новотворєнь) на поверхні катода під дією потоку плазми. Отримано рівняння еволюції профілю поверхні, що враховує, поряд з розпиленням, процес конденсації на поверхні вторинних заряджених часток власного матеріалу мішені. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити