Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0308U001600, 0106U010025 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження можливостей створення якісних контактних систем на кремнії та розробка методик контролю їх параметрів Назва етапу роботи Дослідження можливостей створення якісних контактних систем на кремнії та розробка методик контролю їх параметрів Керівник роботи Ніконова Зоя Андріівна, Дата реєстрації 12-02-2008 Організація виконавець Запорізька державна інженерна академія Опис етапу У даній роботі проаналізовані методи створення контактних систем до напівпровідникових приладів і ІМС. Досліджені напівпровідникові структури методом Вольт-Фарадних характеристик. Проведено розрахунок параметрів поверхневого стану в контактних системах і досліджено вплив різних чинників на їх якість. Розроблена методика контролю параметрів і характеристик дифузійних структур на основі методу нестаціонарної ємкісної спектроскопії глибоких рівнів. Досліджено температурні режими отримання контактних систем і проведена перевірка якості відпалу полупровідникових структур. Розроблена міні-піч малої потужності з пристроєм автоматизованого управління відпалом напівпровідникових структур. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити