Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0310U002069, 0109U001095 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення та дослідження моделей та процесів формування в кремнієвих пластинах p-n переходів та прихованих шарів при дії УЗ коливань і механічних напружень Назва етапу роботи Розроблення та дослідження моделей та процесів формування в кремнієвих пластинах p-n переходів та прихованих шарів при дії УЗ коливань і механічних напружень Керівник роботи Божко Анатолій Панасович, Дата реєстрації 29-01-2010 Організація виконавець Вінницький національний технічний університет Опис етапу Звіт про НДР (заключний): 27 с., 6 розд., 5 рис., 1 табл., 9 джерел. Об'єкт дослідження - процеси введення УЗ коливань та механічних напружень в кремнієві пластини та їх вплив на переміщення міжвузлових дефектів, створених іонно-проміневою імплантацією домішок при формуванні p-n переходів та прихованих шарів. Мета роботи - розроблення та дослідження математичних моделей та процесів введення однорідних УЗ коливань та механічних напружень в кремнієві пластини в напрямку їх товщини, а також розроблення та дослідження математичних моделей переміщення міжвузлових дефектів в кремнієвих пластинах, створених процесами іонно-проміневої імплантації домішок при формуванні p-n переходів та прихованих діелектричних шарів з використанням дії УЗ коливань та механічних напружень, як в процесі імплантації домішок, так і перед відпалом пластин при активізації домішок. Метод дослідження - теоретичний аналіз. Результати та їх новизна - розроблені математичні моделі процесів введення динамічних УЗ коливань та контролю їх інтенсивності в іонно-імплантованих домішками пластинах кремнію шляхом статичного їх притискання до п'єзоелектричної пластини з подальшим збудженням високочастотних УЗ коливань в багатопрошарковій структурі напівпровідник-п'єзоелектрик електричною напругою, яка прикладається до пластини п'єзоелектрика. УЗ АКТИВІЗАЦІЯ, ІОННА-ІМПЛАНТАЦІЯ, НАПІВПРОВІДНИК. Умови одержання звіту: за договором. Вул. Горького, 180, УкрІНТЕІ, Київ, 03680; тел. (044) 528-25-22, факс. (044) 528-25-41. Опис продукції отримані аналітичні вирази, за якими здійснюється контроль інтенсивності УЗ коливань в кремнієвих пластинах за результатами вимірювання добротності багатопрошаркової структури напівпровідник-п'єзоелектрик Автори роботи Барабан Сергій Володимирович Божко Анатолій Панасович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розроблення та дослідження моделей та процесів формування в кремнієвих пластинах p-n переходів та прихованих шарів при дії УЗ коливань і механічних напружень
Керівник: Божко Анатолій Панасович. Розроблення та дослідження моделей та процесів формування в кремнієвих пластинах p-n переходів та прихованих шарів при дії УЗ коливань і механічних напружень. (Етап: Розроблення та дослідження моделей та процесів формування в кремнієвих пластинах p-n переходів та прихованих шарів при дії УЗ коливань і механічних напружень). Вінницький національний технічний університет. № 0310U002069
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-19


Роздрукувати цю сторінку