Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0311U003306, 0110U006393 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка, синтез та дослідження періодичних гетероструктур теплових сенсорів Назва етапу роботи Розробка, синтез та дослідження періодичних гетероструктур теплових сенсорів. Керівник роботи Приймак Володимир Іванович, Дата реєстрації 28-02-2011 Організація виконавець Виробничо-наукове ДП ВАТ "НВП "Сатурн" "Елісат" Опис етапу Розроблено технологію виготовлення одновимірних структур BаSrTiO3 та BaTiO3 з використанням методу наноімпринту. Розроблено новий спосіб створення монокристалічних плівок оксидів в режимі шарового зростання, принципова відмінність якого від відомих аналогів полягає в тому, що зростання плівок відбувається з наночастинок складного оксиду, що утворюються в плазмі сильноточного високочастотного розряду (тиск кисню близько 13Па, а високочастотна потужність (70-100) Вт/cм2). Виготовлені впорядковані структури на основі отриманих плівок методом фокусованого іонного травлення з використанням установки Quanta 3D (FEI Technology). Розроблено технологічну методику формування атомних пучків з регульованою швидкістю частинок. Отримано періодичні структури на базі полярних діелектриків BaSrTiO3 та BaTiO3. Отримані фізичні постійні, що характеризують якісні показники цих матеріалів: температуропровідність 2,3·10-3 см2/с і 2,1·10-3 см2/с (для обох матеріалів) та постійна Кюрі-Вейса 3·103К та 2,4·103К, відповідно. Отримано наношари товщиною (50-100) нм LiTaO3 методом молекулярної епітаксії при швидкості конденсації - (3-5) нм/хв., з такими параметрами: стехіометрія - не гірше 15%, поляризація - 3,2 мкКл/см2. Показано, що метод наноімпринту дозволяє безпосередньо отримувати періодичні структури теплових сенсорів на основі активних діелектриків на основі полімерних сполук та золь-гель-шарів BаSrTiO3 і BaTiO3. Отримано лабораторний зразок гетероструктури в умовах надвисокого вакууму (не гірше 1·10-6Па) на основі матеріалів ZnSe-PbTiO3 на кремнієвій технологічній підкладці. Опис продукції Технологічна методика формування атомних пучків з регульованою швидкістю частинок базується на фізичних властивостях парових частинок, що обумовлюють енергетичні та просторові характеристики потоків. Технологічний процес реалізований на базі установки вакуумного нанесення покриттів УВН-74П-1. Виходячи з встановлених характеристик потоку проводиться розрахунок відстані між джерелом нейтральних атомів та підкладкою по заданій однорідності потоку - найбільшому відхиленню густини часток по перетину потоку біля поверхні підкладки. Виходячи з заданої швидкості осадження нанорозмірних структур вибирають температуру випаровування з джерела. Від температури поверхонь, що випаровують, залежить інтенсивність потоку парових часток та характер розподілу часток за енергіями. Розподіл частинок за швидкістю визначається залежністю Максвелла. Для зменшення просторового відхилення частинок від напрямку потоку використовують механічне обмеження траєкторії поширення частинок - механічні коліматори. Використання механічного Автори роботи Приймак Володимир Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити