Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0311U003511, 0111U006369 , Науково-дослідна робота Назва роботи Оптичні і рентгенівські дослідження фазового складу покриттів з алмазоподібної і нанокомпозитної структури Назва етапу роботи Дослідження фазового складу структури і напруженого стану магнетронних покриттів і покриттів, які нанесені гібридним напиленням. Керівник роботи Стрельчук Віктор Васильович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 07-07-2011 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Методами мікроскопічного комбінаційного розсіювання світла та високороздільної рентгенівської дифракції проведено дослідження нанокомпозитних покриттів TiN:С отриманих магнетронним розпиленням, алмазоподібних вуглецевих покриттів напилених гібридним лазерно-плазмовим методом та зразків гідроксилапатитів в залежності від технології їх отримання. Із субмікронним розділенням отримано спектри мікро-КРС і оцінено фазовий склад досліджуваних структур. Визначено склад, характерні розміри мікрокристалічних блоків та оцінено пружні деформації в досліджуваних покриттях. З аналізу форми спектрів КРС досліджуваних TiN:С плівок виявлено формування в досліджуваних зразках сильно розупорядкованих графітоподібних кластерів. За відношенням G та D смуг встановлено відношення sp2/sp3 фаз вуглецю в досліджуваних структурах. Результати КРС досліджень алмазоподібних вуглецевих плівок осаджених на металеві підкладки свідчать про формування на поверхні досліджуваних покриттів в залежності від типу підкладки шарів оксидів залізу, молібдену та міді, при цьому аморфні чи кристалічні вуглецеві кластери в досліджуваних структурах були відсутніми. Для алмазоподібних плівок нанесених гібридним лазерно-плазмовим методом на кремнієві підкладки встановлено присутній розупорядкованої графітоподібної фази та кристалічної фази алмазу. З аналізу рентгенограм досліджуваних TiN:С плівок встановлено присутність в плівках кубічної фази карбіду титану. З проведеного кількісного аналізу кубічної фази TiC показано, що розміри ОКР і мікроспотворень гратки мають ізотропний характер, а середні деформації кристалічної гратки лінійно збільшується зі збільшенням розміру зерен. Опис продукції Широке застосування гетерогенних систем потребує розвитку локальних, неруйнівних методів їх характеризації. Виробництво приладів опто- і наноелектроніки вимагає впровадження найсучаснішого устаткування нанодіагностики матеріалів для контролю технології їх отримання. В проекті були розроблені і вдосконалені нові безконтактні, неруйнівні методи діагностики оптичних і структурних параметрів та дефектів із локальним (субмікронним) просторовим розділенням. Проведені пошукові дослідження дозволили проаналізувати структурні і оптичні властивості титано-вмістних нанокомпозитних покриттів та алмазоподібних плівок у взаємозв'язку з технологічними умовами їх синтезу. Дані методики дозволяють встановити вплив технологічних факторів та фазового (компонентного) дизайну шарів на робочі параметри титано-вмістких нанокомпозитних та алмазоподібних покриттів і встановлення взаємозв'язку їх фундаментальних фізичних характеристик з технологічними режимами синтезу. Автори роботи Авраменко Катерина Андріївна Кладько Василь Петрович Коломис Олександр Федорович Кучук Адріан Володимирович Ніколенко Андрій Сергійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити