Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0313U005125, 0108U004840 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення метрологічного комплексу для діагностики компонентної бази наноелектроніки методами скануючої зондової мікроскопії Назва етапу роботи Теоретичний аналіз фізичних процесів взаємодії нанозонд-поверхня при дослідженнях механічних та електрофізичних параметрів поверхонь методами СЗМ. Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 30-04-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Розроблено пакет програмного забезпечення для моделювання і аналізу процесів механічної та електричної взаємодії СЗМ зонд-поверхня. З використанням цього ПЗ створена унікальна методика картографування складу структурних елементів напівпровідникових наноелектронних приладів на основі скануючого зондового мікроскопу. Опис продукції Розроблена комбінована методика для вирішення проблем діагностики топології сучасних напівпровідникових приладів із просторовою роздільною здатністю кілька нанометрів при чутливості на рівні не гірше 10^14 см^-3; Автори роботи Литвин О.С. Литвин П.М. Прокопенко І.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розроблення і створення метрологічного комплексу для діагностики компонентної бази наноелектроніки методами скануючої зондової мікроскопії
Керівник: Прокопенко Ігор Васильович. Розроблення і створення метрологічного комплексу для діагностики компонентної бази наноелектроніки методами скануючої зондової мікроскопії. (Етап: Теоретичний аналіз фізичних процесів взаємодії нанозонд-поверхня при дослідженнях механічних та електрофізичних параметрів поверхонь методами СЗМ.). Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0313U005125
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку