Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0313U005126, 0108U004840 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення метрологічного комплексу для діагностики компонентної бази наноелектроніки методами скануючої зондової мікроскопії Назва етапу роботи Розроблення і створення комплексу методів нанозондової діагностики локальних електричних параметрів елементів напівпровідникових наноструктур. Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 30-04-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Розроблена методика комплексної діагностики якості тонких (5-20 нм) плівок high-k діелектриків для потреб сучасної наноелектроніки. Методика включає три методи діагностики: субнанометрову топометрію поверхні для виявлення флуктуацій товщини, характеризацію локальних (площа контакту від 9 нм^2) пробійних характеристик і контроль механічних властивостей методами наноіндентування та склерометрії. Зазначена методика дозволяє суттєво покращити якість діагностики тонких діелектричних плівок, що сприяє підвищенню продуктивності праці та якості створюваних виробів. Опис продукції Розроблена методика включає субнанометрову топометрію поверхні для виявлення флуктуацій товщини, характеризацію локальних (площа контакту від 9 нм^2) пробійних характеристик і контроль механічних властивостей методами наноіндентування та склерометрії Автори роботи Литвин О.С. Литвин П.М. Прокопенко І.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити