Знайдено документів: 1
Керівник: Мітін Вадим Федорович. Розробка і створення технологій вирощування низькотемпературних сполук кремнію для мікроелектронних сенсорів.. (Етап: Визначення технологічних підходів та розгляд технічних варіантів створення нанопористих та наноструктурованих матеріалів. Розробка основних технологічних рішень і методик одержання матеріалів і структур.). Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0314U004127
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-21
