Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0318U004187, 0117U007577 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розрахунок параметрів еванесцентної хвилі в ближні зоні нанонеоднорідностей поверхні кварцу Назва етапу роботи Розрахунок параметрів еванесцентної хвилі в ближні зоні нанонеоднорідностей поверхні кварцу Керівник роботи Каневський Василь Іванович, Кандидат технічних наук Дата реєстрації 11-10-2018 Організація виконавець Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України Опис етапу Мета роботи: електродинамічний розрахунок параметрів еванесцентного поля в ближній зоні нанонеоднородностей шорсткої поверхні кварцу та квантовохімічне дослідження впливу еванесцентного поля на взаємодію газоподібного хлору з кварцом для деструкції нанонеоднорідностей даної поверхні та її субнанополірування. Опис продукції Дані параметри дають можливість виконати нанолокальне травлення шорсткої поверхні кварцу. Автори роботи Гребенюк А.Г. Демяненко Є.М. Каневський В.І. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити