Search academic texts

Information × Registration Number 0400U002326, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 15-09-2000 popup.evolution o Title Development of etching compositions and technological procedures of polishing surfaces formation of indium arsenide and antimonide substrates for IR electronics. Author Danylenko Svitlana Grygorivna, popup.head Томашик В.М. popup.opponent Горбик П.П. popup.opponent Карачевцева Л.А. Description Дисертація присвячена дослідженню взаємодії InAs та InSb з розчинами систем HNO3-HCl(HBr)-комплексоутворювач і розробці на основі отриманих експериментальних результатів травильних композицій та режимів обробки поверхонь вказаних напівпровідників. З використанням математичного планування експерименту побудовано поверхні однакових швидкостей травлення (діаграми Гіббса) арсеніду та антимоніду індію в досліджуваних системах розчинів при використанні води, оцтової, винної, щавелевої, молочної та цитринової кислот як комплексоутворювача. Досліджено кінетичні закономірності процесу розчинення та встановлено межі існування областей поліруючих і неполіруючих розчинів в кожній з досліджуваних систем. Registration Date 2000-09-15 popup.nrat_date 2020-04-04 Close