Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0405U000374, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 21-01-2005 Статус Запланована Назва роботи Вплив активних обробок на процеси формування та властивості омічних та бар'єрних контактів до карбіду кремнію. Здобувач Кудрик Ярослав Ярославович, Керівник Конакова Раїса Василівна Опонент Комащенко Валерій Миколайович Опонент Чайка Василь Євгенович Опис Дисертація присвячена дослідженню процесів на межі поділу метал/карбід кремнію під впливом активних обробок. Встановлено, що аморфні та квазіаморфні плівки TiBx (ZrBx) у результаті швидкої термічної обробки (ШТО) до температури 1000 °С не зазнають структурних і фазових перетворень. Структури з бар'єром Шотткі на їх основі є стійкими до ШТО до температури 1000 °С та до опромінення (-квантами 60Со (до дози 109 Р). Для формування омічного контакту до SiC були використані, поряд із термічними, також атермічні обробки. Виявлено, що питомий опір і термічна стійкість контактів, сформованих атермічними обробками, такі самі, як і при термічному формуванні. Дата реєстрації 2005-01-21 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити