Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0405U000448, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 31-01-2005 Статус Запланована Назва роботи Закономірності фазоутворення та термічна стабільність силіциду нікелю NiSi в тонкоплівкових системах Co-Ni, Ni-Ti, Ni-Si на монокристалах кремнію Здобувач Вербицька Тетяна Іванівна, Керівник Сидоренко Сергій Іванович Опонент Дворіна Людмила Андріївна Опонент Белоус Михайло В'ячеславович Опис Дисертація присвячена визначенню закономірностей формування фазового складу і структури внаслідок термічно-активованих твердотільних реакцій та інтервалів термічної стійкості силіциду нікелю NiSi у тонкоплівкових системах Co, Ni, Co-Ni, Ni-Tі та у багатошарових плівкових нанорозмірних системах Ni/Si/Ni/Si…, Co/Si/Co/Si…, Ni/Tі/Ni/Ti… на монокристалах кремнію. Ключові слова: багатошарові плівки, аморфний стан, фаза, відпал, силіцид, підкладка, структура. Дата реєстрації 2005-01-31 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити