Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0408U001324, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 17-03-2008 Статус Запланована Назва роботи Структура, кінетика зростання та властивості плівок боридів та боронiтридів ванадію та танталу Здобувач Петухов Вадим Вікторович, Керівник Гончаров Олександр Андрійович Опонент Ажажа Володимир Михайлович Опонент Азарєнков Микола Олексійович Опонент Литвиненко Володимир Вікторович Опис Об'єкт: плівки, одержані за допомогою метода ВЧ-магнетронного розпилення мішеней VB2 і ТаВ2 нереактивним та реактивним методами. Мета: вирішення задачі по встановленню фізичних процесів щодо формування структури, складу і фізико-механічних властивостей плівкових покриттів, що утворюються в системах V-B-N і Та-В-N. Методи: комп'ютерне моделювання за методом Монте-Карло, просвічувальна електронна мікроскопія, рентгенівська дифрактометрія, вторинна іонна мас-спектрометрія, ІЧ-спектрометрія, вимірювання мікротвердості, наноіндентування. Результати: визначено оптимальний інтервал осадження плівок VB2 і ТаВ2, що забезпечує одержання максимальних за товщиною плівок зі складом, близьким до стехіометричного. Визначено вплив режимів розпилення на зміни характеристик потоку часток, що конденсуються. Визначено характер впливу зміни співвідношення реактивного (азот) і робочого (аргон) газів на процеси фазоутворення і зростання досліджених плівок. Досліджено і пояснено механізм нітридизації мішені VB2 в середовищі "аргон + азот", що приводить до відсутності боридних фаз в одержаних плівках. Запропоновано спосіб одержання багатошарових боридних і нітридних структур перехідних металів із заданими фізико-механічними властивостями, в одному технологічному циклі, використовуючи одну мішень. Галузь застосування: фізика твердого тіла, мікроелектроніка, машинобудування Дата реєстрації 2008-03-17 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити