Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0409U000578, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 23-01-2009 Статус Запланована Назва роботи Структурна релаксація нанорозмірних плівок Та2О5, вирощених на підкладках p-Si, стимульована мікрохвильовою обробкою Здобувач Шинкаренко Володимир Вікторович, Керівник Конакова Раїса Василівна Опонент Лисенко Володимир Сергійович Опонент Горбик Петро Петрович Опис Дисертація присвячена дослідженню атермічного впливу мікрохвильового опромінення на МДН структури з Та2О5 плівками. Розглянуто вплив НВЧ обробки в залежності від технологічних аспектів створення структур. В роботі розвивається перспективний напрямок фізики твердого тіла, пов'язаний як з направленим технологічним відпалом МДН структур, так і зі збільшенням їх стійкості до НВЧ опромінення. Вперше було виявлено немонотонні зміни електрофізичних та структурних параметрів МДН структур з плівками Та2О5 під впливом мікрохвильового опромінення частотою 2,45 ГГц та визначено оптимальний діапазон часу експозиції. Показано, що дані зміни впливають перш за все на межу розділу діелектрик-напівпровідник. Перевірено та підтверджено припущення про те, що зменшення внутрішніх механічних напруг в цій області приводить до підвищення стійкості МДН структур. Для зменшення внутрішніх механічних напруг було використано легування плівки Та2О5 титаном. Дата реєстрації 2009-01-23 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити