Search academic texts

Information × Registration Number 0411U001814, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 11-03-2011 popup.evolution o Title Generation of flows of ions and electrons from the RF inductively coupled plasma discharge using single-grid extraction system Author Rafalskyi Dmytro Vyacheslavovych, popup.head Dudin Stanislav Valentynovych popup.opponent Шамрай Костянтин Павлович popup.opponent Ткаченко Віктор Іванович Description У дисертаційній роботі досліджено процеси формування потоків іонів і електронів з плазми ВЧ індукційного розряду за допомогою односітчастої екстракційної системи, вивчена взаємодія плазми ВЧ індукційного розряду та іонно-пучкової плазми через екстракційну систему, вивчено проблеми вводу ВЧ потужності до плазми ВЧ індукційного та комбінованого ВЧ індукційно-ємнісного розрядів. Для цього автором проведено велику кількість експериментальних вимірювань і побудовано узгоджені з експериментом теоретичні моделі. Registration Date 2011-03-11 popup.nrat_date 2020-04-04 Close