Search academic texts

Information × Registration Number 0412U003037, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 18-04-2012 popup.evolution o Title Electrophysical and structural properties of layered systems with silicon nanoinclusions. Author Bratus Oleg Leonidovich, popup.head Evtukh Anatoliy Antonovich popup.opponent Назаров Олексій Миколайович popup.opponent Ільченко Володимир Васильович Description У дисертаційній роботі наведені результати комплексних досліджень структурних властивостей нанокомпозинних SiO2(Si) плівок, отриманих методами іонно-плазмового розпилення (IPS) та плазмохімічного осадження з парогазової фази (PE CVD). За допомогою різних методик досліджені основні закономірності трансформації збагачених кремнієм SiOx плівок в нанокомпозитні плівки SiO2(Si), що містять НК Si в діелектричній матриці після високотемпературного відпалу. Нанокомпозитні плівки, отримані PE CVD методом, показують вузький інтенсивний пік ФЛ в діапазоні 1,46 - 1,57 еВ. Встановлено механізм електропровідності нанокомпозитних плівок SiO2(Si), отриманих IPS методом, з послідуючим температурним відпалом. Електропровідність даних плівок здійснюється за механізмом стрибкової провідності із змінною довжиною стрибка, що обумовлено великою кількістю обірваних кремнієвих зв'язків в діелектричній матриці. Визначена концентрація пасток в нанокомпозитних SiO2(Si) плівках, які приймають участь у електропровідності при різному вмісту надлишкового кремнію у вихідних плівках SiOx. Виявлено ефект від'ємної диференційної ємності в МДН структурах з нанокомпозитними плівками SiO2(Si) в якості діелектрика та запропонована фізична модель для його пояснення. Модель базується на паралельному включенні ємності нанокристалів до ємності діелектрика. Registration Date 2012-04-18 popup.nrat_date 2020-04-04 Close