Кандидатська дисертація. Лень Юрій Анатолійович. Дослідження взаємодії кисню з поверхнею кремнію (001), вкритою передадсорбційними шарами.

Реєстраційний номер

0419U000645, Кандидатська дисертація

На здобуття

Кандидат фізико-математичних наук

Дата захисту

28-02-2019

Статус

Захищена

Назва роботи

Дослідження взаємодії кисню з поверхнею кремнію (001), вкритою передадсорбційними шарами.

Здобувач

Лень Юрій Анатолійович,

Керівник Коваль Ігор Пилипович
Опонент Оберемок Олександр Степанович
Опонент Федорус Олексій Григорович

Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист

Інститут фізики НАН України

Опис

Досліджено початкові стадії окислення, а саме: адсорбцію та дисоціацію молекулярного кисню, утворення зв’язків кисень-адсорбат та кисень-кремній з наступною дифузією атомарного кисню в об’єм в системах Sb/Si(001), в сплаві германій-кремній, Cr/Si(001) та Ti/Si(001) структурах при кімнатній температурі. З’ясовано механізми формування оксидів на поверхні Si(001) з моношаровими покриттями адсорбатом у широкому діапазоні експозицій в атмосфері молекулярного кисню. Експериментально досліджено механізми силіцидоутворення та кінетики окислення в системах Si(001)-Cr 1 МШ, Si(001)-Ті 1 МШ. Встановлено механізми формування силіцидів і утворення оксидів і субоксидів. Методом іонізаційної спектроскопії вперше одержано іонізаційні лінії стибію N4,5, титану М1 та М2,3, хрому М2,3. При окисленні масивних плівок Sb методом іонізаційної спектроскопії вперше зареєстровано хімічний зсув положення ІЛ стибію N4,5 на 2,5 еВ в бік більших енергій втрат. Для визначення хімічного стану атомів хрому на поверхні кремнію можна використовувати іонізаційну лінію Cr M2,3. При окисленні поверхні кремнію, яка вкрита плівкою титану, відбувається зміна в іонізаційних лініях титану M2,3. В енергетичному спектрі іонізаційної лінії з’являється додатковий пік при енергіях 43,5 еВ. Це може бути характерною ознакою утворення оксиду титану.

Дата реєстрації

2019-03-11

Додано/оновлено в НРАТ

2020-04-03 / 2026-06-29