Search academic texts

Information × Registration Number 0421U102289, Candidate dissertation Status Кандидат фізико-математичних наук Date 26-04-2021 popup.evolution o Title Synthesis of carbon nanomaterials in magnetron plasma Author Bohdanov Roman Viktorovych, popup.head Martysh Yevhen Vlasovych popup.opponent Yakovenko Yuriy Volodymyrovych popup.opponent Dobrovolskyy Andriy Mykolayovych popup.review Chernayk Viktor popup.review Veklich Anatolii Nikolaevich popup.review Yakovenko Yuriy Volodymyrovych Description Робота присвячена визначенню умов синтезу вуглецевих наноматеріалів методом магнетронного розпорошення з використанням магнетронного розпорошувального пристрою з двома зонами ерозії (ДЗМРП). Комп’ютерне моделювання методом Монте-Карло з частинками дозволило прогнозувати оптимальні режими для отримання вуглецевих плівок з sp2- зв’язками між атомами вуглецю на даному ДЗМРП. За цих режимів досягається енергія розпорошених із мішені атомів вуглецю біля 7,04 еВ, а їх потік складав біля 6×1015 см-2с-1. За температур підкладки (423 .. 618) K методом комбінаційного розсіювання світла виявлено характерний розмір sp2- зв’язаних нанокристалітів у плівках (5..6) нм. З моделювання виявлено нелінійну зміну потоку розпорошеної речовини з даного ДЗМРП навіть за одного і того самого розрядного струму. За мінімуму потоку 4,95×1015 см-2с-1 формування плівок з великими нанокристалітами ускладнено. Показано, що при відстані мішень –підкладка у 4 см незаземлена підкладка у плазмі розряду даного ДЗМРП набирає потенціал самозміщення не більше -7В, що відповідає електронній температурі до 1,4 еВ. Registration Date 2021-05-27 popup.nrat_date 2021-05-27 Close