Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0493U000765, Кандидатська дисертація

Назва роботи

Физико-технологические проблемы разработки элементов арсенид-галлиевых аналоговых монолитных интегральных схем

Здобувач

Ильин Игорь Юрьевич,

Керівник Босий В.И.
Опонент Прохорович А.В.
Опонент Марончук И.Е.

На здобуття

к.т.н., 05.27.06, Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки

Дата захисту

19-02-1993

Опис

Объект исследования: Технология изготовления элементов арсенид-галлиевых монолитных аналоговых интегральных схем (МИС). Цель исследования: Разработка элементов МИС и технологии их создания, повышение стабильности базовых параметров (МИС). Методы исследования и аппаратура: Дифракция ретгеновских лучей, микроанализ, фотолюминесценция, ВАХ, ВФХ, ИК оптическая спектроскопия, металография ДРОН-3, КСВУ-23, САМЕСА, Л2-56, Е7-12, МИИ-4, ИКС-21. Теоретические результаты и новизна: Развито представление про механизм атермического гетерирования и подтверждено верность предложенных моделей и механизма работы усилителя волны которая бежит. Практические результаты и новизна: Разработана базовая технология аналоговых МИС НВЧ с использованием термостойких полимеров и аретмического гетерирования и мтетодов локализации дефектов. Предмет и степень внедрения: Базовая технология создания аналоговых МИС, серийное производство. Эффективность внедрения: Освоено в производстве изготовления МИС типа ТП 038.018 с общим объемом реализации более 2 млн. крб. Сфера (область) использования: Изготовление элементной базы НВЧ электроники, технология производства GaAs устройств.