Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0493U000788, Кандидатська дисертація

Назва роботи

Методы лазерного сканирующего контроля дефектности поверхности кремниевых пластин

Здобувач

Субота Юрий Васильевич,

Керівник Ширшов Ю.М.
Керівник Стергилов В.А.
Опонент Жарких Ю.С.
Опонент Конакова Р.В.

На здобуття

к.т.н., 05.27.06, Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки

Дата захисту

16-04-1993

Опис

Объект исследования: Микродефекты и модельные объекты в виде латексных шариков на поверхности кремниевых пластин. Цель исследования: Решение комплекса научно-технических проблем по созданию методов лазерного сканирующего контроля поверхности полупроводниковых пластин ивнедрению их в промышленный технологический процесс. Методы исследования и аппаратура: Измерение индикатрис рассеивания света, измерение интегрального коэффициента рассеивания света, электронная микроскопия. Теоретические результаты и новизна: Показано, что зависимость интегрального сечения рассеивания света латексных шариков на поверхности полупроводника от диаметра шарика представляет собой кривую с минимумом в области 065-0,7 мкм. Использование соотношения интенсивностей рассеянного микрочастицами света при осветлении их двумя лучами с разными длинами волн. Практические результаты и новизна: Установлено, что критерием состояния технологического оборудования с точки зрения уменьшения внесенной дефекности с положения максимума на кривой статистического распределения количества микродефектов на пластинах. Предмет и степень внедрения: Внедрено установки контроля кремниевых пластин в ВО "Квазар" "Киев/ и ПО "Элекс" /Александров/. Эффективность внедрения: Суммарный экономический эффект составляет 160,9 тыс. р. в год. Сфера (область) использования: Контроль состояния поверхности полупроводниковых пластин в ПО "Квазар", "Сатурн", "ОРион", "Родон" и др.