Search academic texts

Information × Registration Number 0493U001122, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 23-04-1993 popup.evolution o Title Author Шутов Станислав Викторович, popup.head Марончук И.Е. popup.opponent Новиков О.О. popup.opponent Лисовенко В.Д. Description Объект исследования: Тонкие слои арсенида галлия на подложках их стекла и кремния. Цель исследования: Получение и исследование свойств монокристаллических слоев арсенида галлия на дешевых инородных подложках из монокристаллических и аморфных материалов. Методы исследования и аппаратура: Метод фотолюминесценции, метод поверхностных акустических волн, поляризационно-оптический метод, рентгеноспектральный анализ. Теоретические результаты и новизна: Изучены и установлены основные механизмы кристаллизации гомоэпитаксиальных слоев арсенида галлия с низкой плотностью дислокаций при выращивании в процессе зонной перекристаллизации гравитационным полем. Исследованы основные механизмы кристаллизации графоэпитаксиальных слоев GaHs. Установлены основные механизмы дефектообразования в GaHs при термокомпр. Практические результаты и новизна: Разработаны методики и технологические регламенты получения монокристаллических слоев арсенида галлия с низкой плотностью дислокаций, гетероэпитаксиальных слоев арсенида галлия на кремнии, монокристаллических слоев арсенида галлия на стекле методом термокомпрессии. Сфера (область) использования: Технология полупроводников и полупроводниковых приборов. Registration Date 1993-02-15 popup.nrat_date 2021-03-18 Close