Search academic texts

Information × Registration Number 0493U004237, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 20-05-1993 popup.evolution o Title Author Клименко Виктор Николаевич, popup.head Косевич В.М. popup.opponent Кагановский Ю.С. popup.opponent Пугачев А.Т. Description Объект исследования: Тонкопленочная система палладий/серебро. Цель исследования: Определение особенностей гомогенизации в разных по структуре и условиям испытания пленкам палладий/серебро. Методы исследования и аппаратура: Электронная микроскопия, электронография, прецизионное измерение электросопртивления. Теоретические результаты и новизна: Показано, что в пленках палладий/серебро зернистая структура и структура межфазной поверхности влияют на процесс гомогенизации при низких (до 500 град.C) температурах. Практические результаты и новизна: Впервые показано, что изменяя размер зерна, структуру межфазной границы и температуру отжига можно регулировать процесс гомогенизации в пленочных системах. Сфера (область) использования: Пассивные элементы микроэлектроники, многослойные пленочные системы. Registration Date 1993-05-20 popup.nrat_date 2020-05-17 Close