Реєстраційний номер
0495U000093, Кандидатська дисертація
На здобуття
к.ф.-м.н.
Дата захисту
29-12-1992
Статус
Захищена
Назва роботи
Дефектообразование в кремнии, легированном элементами IV группы
Здобувач
Яшник Виктор Иванович,
Керівник Шаховцов В.И.
Керівник Хируненко Л.И.
Опонент Кив А.Ю.
Опонент Блонский И.В.
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
НТК "Институт монокристаллов" НАН Украины
Опис
Объект исследования: Монокристаллический кремний, легированный изовалентными примесями. Цель исследования: Исследование влияния изовалентных примесей на термическое радиационное дефектообразование в кремнии. Методы исследования и аппаратура: Инфракрасная Фурье спектроскопия, электронный парамагнитный резонанс, измерения эффекта Холла. Теоретические результаты и новизна: Предложена модель, которая объясняет процесс снижения эффективности образования термодоноров в кремнии, легированном германием. Практические результаты и новизна: Выяснено, что независимо от температуры облучения легирование кремния гкрманием приводит к снижению эффективности введения радиационных дефектов. Предмет и степень внедрения: Повышение термической и радиационной стойкости кремния. Сфера (область) использования: Физика полупроводников, микроэлектроника.
Дата реєстрації
2000-06-08
Додано/оновлено в НРАТ
2021-03-18 / 2026-06-30
