Search academic texts

Information × Registration Number 0495U002440, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 29-10-1994 popup.evolution o Title Author Селезнева Руслана Витальевна, popup.head Лысогор В.Н. popup.opponent Мельник В.С. popup.opponent Самотый В.В. Description Объект исследования: Процесс полирующего травления кремния в парогазовой смеси хлористого волорода. Цель исследования: Разработка методического, математического, алгоритмического и программного обеспечения для моделирования. Методы исследования и аппаратура: Методы вычислительной математики и теории автоматического управления, ПЭВМ. Теоретические результаты и новизна: Разработка новых методик моделирования и математических моделей. Практические результаты и новизна: Разработка комплекса программ и инженерных методик. Предмет и степень внедрения: Инженерные методики. Эффективность внедрения: 22,1 тыс.руб. на 01.01.91. Сфера (область) использования: Электронная промышленность. Registration Date 1995-05-29 popup.nrat_date 2021-03-17 Close