Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0496U001061, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 24-06-1996 Статус Запланована Назва роботи Фазовый состав, структура и свойства моно- и биметаллических тонкопленочных слоев тугоплавких металлов на кремнии Здобувач Максимович Людмила Петровна, Керівник Сидоренко С.И. Опонент Гречанюк Н.И. Опонент Васильев М.А. Опис Объект исследования: Тонкопленочные системы "металл-кремний". Цель исследования: Установить закономерности формирования фазового состава в тонкопленочных системах "металл-кремний". Методы исследования и аппаратура: Рентгенографический, резистометрический, электронографический анализ, ВИМС; УРС-2.0, Фотон-3-100. Теоретические результаты и новизна: Установлены закономерности формирования фазового состава, структура и свойства слоев тугоплавких металлов на кремнии. Практические результаты и новизна: Определены технологические режимы получения дисилицидов Ti, Та; диффузионно-барьерных слоев. Предмет и степень внедрения: Внедрены технологические режимы получения дисилицидов Ti, Та. Эффективность внедрения: Будет рассчитана после начала серийного выпуска продукции. Повышение степени интеграции и надежности микроприборов. Сфера (область) использования: Микроэлектроника. Дата реєстрації 1996-06-24 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити