Search academic texts

Information × Registration Number 0496U002491, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 09-10-1996 popup.evolution o Title Author Пидлипный Юрий Васильевич, popup.head Коваль В.А. popup.opponent Недоступ Л.А. popup.opponent Смеркло Л.М. Description Объект исследования: Технологические процессы производства ИС. Цель исследования: Разработка статистических моделей, методов и алгоритмов диагностики технологических процессов прооизводсвта ИС. Методы исследования и аппаратура: Системного анализа, физики полупроводников, математический аппарат статистики, моделирования. Теоретические результаты и новизна: Методика диагностики технологического процесса производства ИС, модели и алгоритмы. Практические результаты и новизна: Программно-методический комплекс (ПМК). Предмет и степень внедрения: Методика, ПМК - в процесс производства ИС. Эффективность внедрения: Уровень выхода годных изделия L 1488 повышено на 2,5%. Сфера (область) использования: Предприятия, которые изготавливают микроэлектронные устройства. Registration Date 1996-10-09 popup.nrat_date 2020-05-17 Close