Search academic texts

Information × Registration Number 0497U000274, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 17-01-1997 popup.evolution o Title Author Статов Виктор Анатольевич, popup.head Конакова Р.В. popup.head Миленин В.В. popup.opponent Чайка Г.Е. popup.opponent Ширшов Ю.М. Description Объект исследования: Контакты тугоплавкий металл (Сr, W, Мо) - GaAs. Цель исследования: Изучение влияния на параметры контактов термо- и лучевых обработок - y-квантов и сверхвысокочастотного электромагнитного поля. Методы исследования и аппаратура: Измерение электрофизических параметров; Оже-электронная спектроскопия, рентгенодифракционные методы. Теоретические результаты и новизна: Исследовано и теоретически обосновано явление восходящей радиационно-стимулированной диффузии в вышеуказанных контактах. Практические результаты и новизна: Установлены режимы гамма-обработки, которые увеличивают выход годных приборов. Предмет и степень внедрения: Результаты могут быть использованы в технологических рекомендациях. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектронной промышленности. Registration Date 1997-01-17 popup.nrat_date 2020-05-17 Close