Search academic texts

Information × Registration Number 0497U001435, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 20-06-1997 popup.evolution o Title Author Митус Владимир Анатольевич, popup.head Клюй Н.И. popup.head Литовченко В.Г. popup.opponent Фекешгази И.В. popup.opponent Стащук В.С. Description Объект исследования: Углеродные пленки и пленки SiGe. Цель исследования: Экспериментальное исследование эллипсометрическими методами оптических свойств тонкопленочных структур на основе элементов IV группы и изучение механизмов модификации их параметров при изменении условий нанесения и в зависимости от режимов термических и ионно-имплантционных обработок. Методы исследования и аппаратура: эллипсометрические методы. Теоретические результаты и новизна: Исследованы и теоретически обоснованы радиационно-стимулированные процессы в углеродных пленках и пленках SiGe. Практические результаты и новизна: Исследовано влияние условий осаждения и режимов дальнейших обработок на оптические и структурные свойства углеродных пленок и процессы релаксации внутренних механических напряжений в пленках SiGe. Предмет и степень внедрения: На стадии публикаций. Эффективность внедрения:. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности. Registration Date 1997-06-20 popup.nrat_date 2020-05-17 Close