Search academic texts

Information × Registration Number 0497U001545, Candidate dissertation Status Date 20-06-1997 popup.evolution o Title Author Мельник Виктор Павлович, popup.head Романюк Б.Н. popup.opponent Бабич В.М. popup.opponent Чуйков Б.А. Description Объект исследования: Скрытые диэлектрические и полупроводниковые слои в кремнии. Цель исследования: Исследование процессов, которые происходят при ионно-лучевом синтезе скрытых диэлектрических и полупроводниковых слоев в кремнии для определения физических механизмов их стимулированного формирования. Методы исследования и аппаратура: Ионная имплантация, электронная микроскопия, Оже-электронная и масс-спектроскопия, ИК-спектроскопия. Теоретические результаты и новизна: Проведено теоретическое моделирование процессов стимулированного формирования тонких скрытых диэлектрических слоев в кремнии. Практические результаты и новизна: Разработан новый медот определения компонентного состава пленок нитрита титана, создана технология управляемого синтеза све. Предмет и степень внедрения: Могут быть использованы при создании радиационностойких ИС. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности. Registration Date 1997-06-20 popup.nrat_date 2020-05-17 Close