Search academic texts

Information × Registration Number 0517U000100, Doctoral dissertation Status д.ф.-м.н. Date 20-01-2017 popup.evolution o Title Generation and transport of ion fluxes in the plasma systems with combined electric and magnetic fields. Author Zykov Oleksandr Volodymyrovych, popup.head Azarenkov Nikolay Alekseevich popup.opponent Гаркуша Ігор Євгенійович popup.opponent Жовтянський Віктор Андрійович popup.opponent Погребняк Олександр Дмитрович Description Дисертаційна робота присвячена дослідженням процесів генерації і транспортування іонних потоків в плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Вивчені процеси виникнення і інтегральні характеристики газових розрядів в пристроях з комбінованими електричними (постійним, високочастотним, потенціальним, вихровим) і магнітними (постійним, змінним) полями на базі планарного магнетронного розряду в прискорювальному і плазмовому режимах, ВЧ- індукційного розряду, комбінованих індукційно-ємнісного і індукційно-магнетронного розрядів. Проведена систематизація процесів генерації і транспортування іонних потоків в плазмових системах з комбінованими ЕН полями на основі дрейфової теорії, визначені загальні параметри подібності і закономірності іонно-плазмових систем на основі фундаментальних положень фізики газового розряду, низькотемпературної плазми і законів збереження частинок, імпульсу і енергії. Registration Date 2017-01-20 popup.nrat_date 2020-04-03 Close