Search academic texts

Information × Registration Number 0521U101761, Doctoral dissertation Status Доктор технічних наук Date 17-09-2021 popup.evolution o Title Interfacial interaction in multilayer nanoscale compositions based on silicon Author Pershyn Yuriy Pavlovich, Кандидат фізико-математичних наук popup.head Кондратенко Валерій Володимирович popup.advisor Kondratenko Valeriy Vladimirovich popup.opponent Litovchenko Sergii Volodimirovich popup.opponent Chugay Oleg Mickolayovich popup.opponent Prokhorenko Evgen Michaylovich Description Показано, що в БНК Me/Si (Me: Sc, Mo, W) продуктами взаємодії є аморфні прошарки (АП) з відносно високим вмістом в них атомів кремнію (ScSi1+x; WSi2-x; Mo5Si3) на міжфазих межах Me-на-Si і переважним вмістом атомів металу (ScSi1-x; WSi0,6±x; Mo3Si) на міжфазних межах Si-на-Me. Фазовий склад аморфних прошарків в БНК Mo/Si істотно відрізняється від традиційно використовуваного MoSi2 при описі їх структури. Процес міжфазної взаємодії можна сильно послабити, якщо зменшити енергію атомів, які розпилюються, шляхом передачі її частини атомам робочого газу при підвищеному тиску аргону або якщо використовувати бар'єрні шари. Розроблено методику оцінки фазового складу аморфних прошарків. Вона заснована на прецизійному вимірюванні відносних об'ємних змін в періодичних БНК, які супроводжують утворення силіцидних прошарків. Придушення МФ-взаємодії призводить до значного зростання відбивної здатності БНК в області м'якого рентгенівського випромінювання (1 <  < 50 нм). Реконструйовано моделі будови БНК, які є функцією товщини металу або бар'єрного шару. Це дало можливість створити рентгенівську оптику і отримати зображення нанооб’єктів. Registration Date 2021-09-20 popup.nrat_date 2021-09-20 Close