Search academic texts

Information × Registration Number 0593U000370, Doctoral dissertation Status д.т.н. Date 20-10-1993 popup.evolution o Title Author Макогон Юрий Николаевич, popup.opponent Палатник Л.С. popup.opponent Гречанюк Н.И. popup.opponent Васильев М.А. Description Объект исследования: Тонкие пленки силицидов переходных металлов на кремнии. Цель исследования: Установление закономерностей процессов формирования фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов. Методы исследования и аппаратура: Методы физико-химического анализа пленок. Теоретические результаты и новизна: Научные основы создания новых технологических режимов формирования структурно-фазовых состояний пленок силицидов переходных металлов на кремнии. Эффективность внедрения: Экономический эффект за период 1984-1990 гг - 8 млн.76 тыс. руб. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектроники. Registration Date 1993-03-14 popup.nrat_date 2021-03-17 Close