Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0595U000067, Докторська дисертація На здобуття д.ф.-м.н. Дата захисту 19-01-1995 Статус Запланована Назва роботи Объемные неоднородности в эпитаксиальных структурах на основе кремния и соединений А3В5 Здобувач Василенко Николай Дмитриевич, Опонент Наумовец А.Г. Опонент Гречко Л.Г. Опонент Ширшов Ю.М. Опис Объект исследования: Полупроводниковые структуры на основе кремния и соединений А3В5. Цель исследования: Изучение объемных неоднородностей и их влияние на свойства структур, разработка методов диагностики, устанволение закономерностей. Методы исследования и аппаратура: Поляризационно-оптический, металлография, люминесценция, микротвердость, электрические. Теоретические результаты и новизна: Созданы физические модели и методики расчета параметров неоднородностей. Практические результаты и новизна: Выявлены закономерности генезиса и динамики неоднородностей, разработаны новые технологии выращивания криталлов и структур с улучшенными характеристиками и созданы новые методики. Предмет и степень внедрения: Технологии обработки и выращивания структур. Методы контроля объемных неоднородностей. Эффективность внедрения: Экономический эффект составляет в 1984-1900 годах 560 тыс. руб. Сфера (область) использования: Материаловедение, полупроводниковая электроника, экология. Дата реєстрації 1995-01-19 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити