Інформація × Реєстраційний номер 2104U000385, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Исследование энергетических спектров вторичной ионной эмиссии металлов Автор Дата публікації 01-01-2004 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1591 Видання Издательство СумГУ Опис The technique of research of energy spectra of the secondary ion emission is offered. The scheme of experimental installation to carry out a research in a wide range of energies of a primary ions beam (20-150 keV) is described. The installation is mounted on base of a high dose ion implanter. For the analysis of secondary ions on weights and energy a monopole mass-spectrometer MX7304A, equipped with a small-sized energy filter, is used. The energy spectra of monoatomic and cluster ions of copper, and also singly and doubly-charged ions of aluminum are received. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1591 Додано в НРАТ 2025-03-31 Закрити