Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2107U000300, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні Автор Дата публікації 01-01-2007 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9835 Видання Видавництво СумДУ Опис У роботі отримані конкретні результати про вплив умов електрохімічного анодування на головні параметри поруватого кремнію: товщину, поруватість, густину, розміри пор. Показана можливість управління процесами анодування. Були вирощені епітаксіальні плівки на поруватому кремнію, які мали високий рівень досконалості. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9835 Додано в НРАТ 2025-03-31 Закрити