Інформація × Реєстраційний номер 2108U000236, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Чутливі елементи датчика тиску на основі плівок Cr і Cu або Fe Автор Дата публікації 01-01-2008 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797 Видання Видавництво СумДУ Опис Запропонований чутливий елемент датчика тиску, який формується на основі багатошарової плівкової системи на основі шарів Cr і Cu або Fe. Наведені результати досліджень робочих характеристик датчика тиску на основі систем Fe/Cr та Cu/Cr, а також аналіз процесів дифузії і фазоутворення на межі поділу шарів і проблему стабільності інтерфейсів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/1797 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити