Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2108U000380, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Высокочастотный мультикасповый источник ионов Автор Дата публікації 01-01-2008 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550 Видання Изд-во СумГУ Опис Разработан высокочастотный мультикасповый ионный источник диаметром 4,7 см и длиной 8 см для генерации ионных пучков с малым энергетическим разбросом. В статье представлена конструкция источника и приведены результаты измерения извлекаемого ионного тока. Плотность ионного тока аргонового пучка равна 55 мА/см2 при 213 Вт ВЧ-мощности. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550 A radio-frequency multicusp ion source in diameter of 4.7 cm and length 8 cm is developed for generation of ion beams with small energy spread. The source design and ion current measurements are presented in the article. The current density of argon ion beam is equal to 55 ìÀ/ñm2 at 213 W of RF power. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550 Додано в НРАТ 2025-03-24 Закрити